QUANTAX FlatQUAD เป็นระบบวิเคราะห์ไมโครโซน EDS โดยใช้เครื่องตรวจจับ XFlash FlatQUAD ที่ปฏิวัติวงการ เครื่องตรวจจับ SDD สี่ช่องแบบวงแหวนที่ออกแบบมาเป็นพิเศษนี้ตั้งอยู่ระหว่างการสแกนรองเท้าขั้วโลกและตัวอย่างเมื่อทำงานและสามารถรับมุมแข็งขนาดใหญ่สำหรับการวิเคราะห์ EDS เมื่อรวมกับซอฟต์แวร์วิเคราะห์ ESPRIT ระบบ QUANTAX FlatQUAD สามารถให้ผลการกระจายพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมสำหรับตัวอย่างที่ยากต่อการวิเคราะห์สเปกตรัมพลังงานแบบเอียงแบบดั้งเดิม ในชุดหัววัดของเครื่องตรวจจับ XFlash FlatQUAD ชิปซิลิคอนดริฟท์อิสระสี่ตัวจัดเรียงเป็นวงกลมรอบ ๆ รูตรงกลางและลําแสงอิเล็กตรอนที่เข้ามาผ่านรูกลางนี้ วัสดุตรวจจับได้รับการคัดเลือกเป็นพิเศษเพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบต่อลำแสงอิเล็กตรอนและรับประกันภาพกระจกไฟฟ้าที่มีคุณภาพสูง ด้วยเทคโนโลยีตรวจจับแบบใหม่

แกนกลางของระบบ QUANTAX FlatQUAD - เครื่องตรวจจับ FlatQUAD Flat，

ตามแนวคิดการออกแบบเครื่องตรวจจับที่แปลกใหม่ติดตั้งอินเทอร์เฟซแนวนอนของไซโลตัวอย่างกระจกสแกนเพื่อให้เครื่องตรวจจับอยู่ระหว่างรองเท้าขั้วโลกและตัวอย่าง เครื่องตรวจจับแบบดั้งเดิมใช้อินเทอร์เฟซเอียงของกระจกไฟฟ้า เครื่องตรวจจับ XFlash FlatQUAD สามารถทำงานร่วมกับกระจกสแกนชนิดต่างๆ เครื่องตรวจจับมีการกำหนดค่าหน้าต่างโพลิเมอร์พิเศษที่มีความหนาต่างกันเพื่อดูดซับอิเล็กตรอนที่กระจัดกระจายด้านหลังภายใต้แรงดันไฟฟ้าเร่งที่แตกต่างกัน

สแกนมุมของแข็งที่เหมาะสมสำหรับการวิเคราะห์สเปกตรัมพลังงานกระจก:

ตำแหน่งและขนาดของชิปเครื่องตรวจจับ XFlash FlatQUAD (พื้นที่ใช้งาน 4 × 15 มม.) ให้มุมแข็งขนาดใหญ่ของการเก็บรังสีเอกซ์ในกระจกสแกน สามารถรับมุมแข็งมากกว่า 1sr และมุมตรวจจับอย่างน้อย 60 °

อัตราการนับและความละเอียดของพลังงานสูงเป็นพิเศษ

ประสิทธิภาพการรวบรวมที่สูงเป็นพิเศษทำให้อัตราการนับสูงเป็นพิเศษชิปแต่ละชิ้นมีช่องประมวลผลสัญญาณที่เป็นอิสระ อัตราการนับอินพุต (ICR) และอัตราการนับเอาต์พุต (OCR) สามารถสูงถึง 4000 kcps และ 1600 kcps ตามลำดับ เทคโนโลยี SDD ระดับมืออาชีพของ Brooke ทำให้ XFlash FlatQUAD รับประกันความละเอียดของพลังงานถึง Mn-Kα126eV, CK 51eV, F-K60eV) ภายในอัตราการนับ 100kcps

หลักการ:

XFlash FlatQUAD เป็นเครื่องตรวจจับปลั๊กแบบแบนที่วางอยู่ระหว่างรองเท้าบูทขั้วกระจกสแกนและตัวอย่าง ผลึกซิลิคอนลอยสี่ชิ้นถูกจัดเรียงเป็นวงกลมรอบ ๆ รูตรงกลางและลําแสงอิเล็กตรอนที่เข้ามาผ่านรูกลาง เหมาะสำหรับระยะการทำงานที่แตกต่างกันและประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม