วิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบออปติคัลหมายถึงการกำจัดมลพิษของอนุภาคฝุ่นขนาดเล็กอากาศที่เป็นอันตรายแบคทีเรีย ฯลฯ ในอากาศภายในช่วงพื้นที่บางอย่างและอุณหภูมิและความชื้นในห้องความสะอาดความดันในร่มความเร็วในการไหลของอากาศและการกระจายตัวของอากาศการสั่นสะเทือนของเสียงและแสงสว่างการควบคุมไฟฟ้าสถิตภายในช่วงความต้องการที่กำหนดและพื้นที่ จำกัด ที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ
วิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบออปติคัลยังมีชื่อว่าห้องปลอดฝุ่นหรือห้องทำความสะอาด ปัจจุบันเป็นสิ่งอำนวยความสะดวกที่สำคัญที่จำเป็นสำหรับอุตสาหกรรมเช่นเซมิคอนดักเตอร์การผลิตที่มีความแม่นยำการผลิตคริสตัลเหลวการผลิตแสงการผลิตแผงวงจรและชีวเคมีการแพทย์การผลิตอาหาร ฯลฯ ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมาเนื่องจากการพัฒนานวัตกรรมทางเทคโนโลยีสำหรับความแม่นยำสูงและการปรับขนาดความต้องการของผลิตภัณฑ์เป็นเรื่องเร่งด่วนมากขึ้นเช่นการวิจัยและการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่พิเศษได้กลายเป็นโครงการที่มีความสำคัญอย่างยิ่งในการพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีของประเทศต่างๆทั่วโลกและแนวคิดการออกแบบและเทคโนโลยีการก่อสร้างของ บริษัท ของเราเป็นผู้นำในอุตสาหกรรม
วิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ออปติคัลไมโครอิเล็กทรอนิกส์โดยทั่วไปประกอบด้วย:
1. พื้นที่การผลิตที่สะอาด
2, ห้องช่วยทำความสะอาด (รวมถึงห้องสำหรับการทำให้บุคลากรบริสุทธิ์ห้องสำหรับการทำให้บริสุทธิ์วัสดุและบางส่วนของห้องนั่งเล่น ฯลฯ )
3 พื้นที่การจัดการ (รวมถึงสำนักงานหน้าที่การจัดการและส่วนที่เหลือ ฯลฯ )
4, พื้นที่อุปกรณ์ (รวมถึงการใช้งานระบบปรับอากาศบริสุทธิ์, เครื่องใช้ไฟฟ้า, น้ำบริสุทธิ์สูงและก๊าซบริสุทธิ์สูง, อุปกรณ์ร้อนและเย็น)
หลักการทำให้บริสุทธิ์ของวิศวกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล
การไหลของอากาศ→การทำให้บริสุทธิ์เบื้องต้น→เครื่องปรับอากาศ→การทำให้บริสุทธิ์ปานกลาง→การระบายอากาศของพัดลม→ท่อ→ช่องระบายอากาศที่มีประสิทธิภาพสูง→เป่าเข้าไปในห้อง→นำแบคทีเรียฝุ่นออก
อนุภาคที่เท่ากัน→บานเกล็ดอากาศกลับ→การทำให้บริสุทธิ์เบื้องต้นทำซ้ำกระบวนการข้างต้นสามารถบรรลุวัตถุประสงค์ในการทำให้บริสุทธิ์
Optical Microelectronics Purification Engineering พารามิเตอร์การทำให้บริสุทธิ์
จำนวนการระบายอากาศ: 100,000 คลาส≥ 15 ครั้ง; เกรด 10,000 ≥ 20 ครั้ง; 1000≥30ครั้ง ความแตกต่างของความดัน: การประชุมเชิงปฏิบัติการหลักไปยังห้องที่อยู่ติดกัน≥5Pa
ความเร็วลมเฉลี่ย: คลาส 10, คลาส 100 0.3 - 0.5 m / s; อุณหภูมิ ฤดูหนาว> 16 ℃; ฤดูร้อน <26 ℃; ความผันผวน± 2 ℃
อุณหภูมิ 45-65%; การประชุมเชิงปฏิบัติการผง GMP ความชื้นที่เหมาะสมประมาณ 50%; ร้านค้าอิเล็กทรอนิกส์มีความชื้นสูงขึ้นเล็กน้อยเพื่อไม่ให้เกิดไฟฟ้าสถิต
เสียงรบกวน ≤65dB (A); การเติมลมใหม่คือ 10% -30% ของปริมาณอากาศทั้งหมด ความสว่าง 300 ลิตร