โคจินสามเป้าหมาย Magnetron สปัตเตอร์

หมายเลขรุ่น:VTC-600-3HD

ภาพรวมผลิตภัณฑ์:

VTC-600-3HD สามเป้าหมายแมกนีตรอนสปัตเตอร์ ใช่zuiอุปกรณ์เคลือบที่พัฒนาและพัฒนาขึ้นใหม่สามารถใช้ในการเตรียมฟิล์ม ferroelectric ชั้นเดียวหรือหลายชั้นฟิล์มนำไฟฟ้าฟิล์มโลหะผสมฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ฟิล์มเซรามิคฟิล์มขนาดกลางฟิล์มออปติคัลฟิล์มออกไซด์ฟิล์มแข็งฟิล์ม PTFE ฯลฯ เมื่อเปรียบเทียบกับอุปกรณ์ที่คล้ายคลึงกันมันไม่เพียง แต่ใช้กันอย่างแพร่หลาย แต่ยังมีข้อดีของการปัสสาวะปริมาณสำหรับการดำเนินงานเป็นอุปกรณ์ที่เหมาะสำหรับการเตรียมฟิล์มวัสดุในห้องปฏิบัติการโดยเฉพาะอย่างยิ่งเหมาะสำหรับการวิจัยในห้องปฏิบัติการอิเล็กโทรไลต์แบบ solid state และ OLED เป็นต้น

คุณสมบัติหลัก:

• สามารถเตรียมฟิล์มได้หลายชนิดและใช้กันอย่างแพร่หลาย
• ขนาดเล็กและใช้งานง่าย
• ห้องสุญญากาศ, เครื่องสูบน้ำสูญญากาศ unit การออกแบบโมดูลาร์ทั้งหมดแหล่งจ่ายไฟควบคุมคือการออกแบบแบบแยกส่วนตามความต้องการที่แท้จริงของผู้ใช้เพื่อปรับความต้องการซื้อ
• สามารถเลือกแหล่งจ่ายไฟได้ตามความต้องการที่แท้จริงของผู้ใช้สามารถควบคุมปืนเป้าหมายได้หลายกระบอกด้วยแหล่งจ่ายไฟเดียวและยังสามารถควบคุมปืนเป้าหมายได้หลายกระบอก

หัวสปัตเตอร์ Magnetron：

• มีหัว magnetron sputtering 3 ตัวติดตั้งในเครื่องมือและทั้งหมดมีแซนวิชระบายความร้อนด้วยน้ำ
• หนึ่งในหัวสปัตเตอร์เชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายไฟ RF ส่วนใหญ่เป็นเป้าหมายฉนวนสปัตเตอร์
• หัวสปัตเตอร์อื่นเชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายไฟ DC เป้าหมายการนำไฟฟ้าสปัตเตอร์หลัก
• ความต้องการขนาดเป้าหมาย: เส้นผ่าศูนย์กลาง 50 มม. ความหนา 0.1-5 มม. (แตกต่างกันไปตามความหนาที่แตกต่างกันของวัสดุเป้าหมาย)
• สายเชื่อมต่อ RF สามารถสั่งซื้อแยกต่างหากสำหรับการสำรองข้อมูล
• อุปกรณ์มีเครื่องทำน้ำหล่อเย็นสำหรับระบายความร้อนด้วยเป้าหมาย

ตารางตัวอย่างการขนส่ง：

• ขนาดตารางโหลดตัวอย่าง: φ140mm (zuiฐานขนาดใหญ่สามารถวาง 4 ')
• ตารางตัวอย่างสามารถหมุนได้ความเร็วของมันคือ: 1-20 รอบต่อนาที (ปรับได้)
• ตารางตัวอย่างการขนส่งzuiอุณหภูมิความร้อนสูงคือ 500 ℃

โพรงสูญญากาศ：

• โพรงสูญญากาศ: φ300 มม. × 300 มม. H ทำจากสแตนเลส
• หน้าต่างสังเกตการณ์: Φ100มม
• วิธีการเปิดโพรงใช้การเปิดด้านบนซึ่งทำให้การเปลี่ยนเป้าหมายง่ายขึ้น

ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ：

• มีเครื่องวัดการไหลของมวล 2 ตัวติดตั้งอยู่ภายในเครื่องมือช่วงคือ: 0-100sccm
• การตั้งค่าการไหลของแก๊สสามารถใช้งานได้บนหน้าจอสัมผัสขนาด 6 นิ้ว
• ระบบนี้ต้องใช้ก๊าซ Ar ในการทำงานและมีวาล์วลดความดันติดตั้งอยู่บนถัง (ไม่รวมอยู่ในอุปกรณ์)

ระบบสูญญากาศ：

• มาพร้อมกับชุดปั๊มโมเลกุล GZK-103D (ผลิตในประเทศเยอรมนี)
• มาตรฐาน 5E-5mbar จำกัด 7.4E-6mbar

ฟิล์มวัดความหนา：

• เครื่องวัดความหนาของฟิล์มควอทซ์แบบสั่นสะเทือนที่มีความแม่นยำสูงติดตั้งอยู่บนเครื่องมือตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์ด้วยความละเอียด0.10Å
• จอแสดงผล LED ยังป้อนข้อมูลที่เกี่ยวข้องของฟิล์มที่ทำ

ขนาดโดยรวมของผลิตภัณฑ์：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• น้ำหนักสุทธิ: 160 กก

โคจินสามเป้าหมาย Magnetron สปัตเตอร์

หมายเลขรุ่น:VTC-600-3HD

การรับรองคุณภาพ:ใบรับรอง CE

เคล็ดลับการใช้งาน：

• อุปกรณ์นี้เป็นอุปกรณ์ DIY การเปลี่ยนแปลงพารามิเตอร์ขนาดใหญ่ก่อนซื้อโปรดตรวจสอบให้แน่ใจว่าได้สื่อสารทางโทรศัพท์อย่างระมัดระวัง
• เพื่อให้ได้คุณภาพของฟิล์มที่ดีขึ้นจะต้องผ่านก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง (แนะนำ> 5N)
• ก่อนการเคลือบสปัตเตอร์ตรวจสอบให้แน่ใจว่าหัวสปัตเตอร์เป้าหมายแผ่นฐานและโต๊ะตัวอย่างสะอาด
• เพื่อให้ได้ฟิล์มและพื้นผิวที่ดีให้ทำความสะอาดพื้นผิวก่อนการสปัตเตอร์
• ทำความสะอาดอัลตราโซนิก (พารามิเตอร์รายละเอียดคลิกที่ภาพด้านล่าง): (1) อัลตราโซนิกอะซิโตน (2) อัลตราโซนิก Isopropyl แอลกอฮอล์ - กำจัดไขมัน (3) เป่าไนโตรเจนแห้ง (4) เตาอบสูญญากาศเอาความชื้น
• การทำความสะอาดพลาสม่า: พื้นผิวสามารถขรุขระและสามารถเปิดใช้งานพันธะเคมีพื้นผิวซึ่งสามารถกำจัดมลพิษเพิ่มเติมได้
• ทำให้ชั้นบัฟเฟอร์บาง ๆ (ประมาณ 5 นาโนเมตร): เช่น Gr, Ti, Mo, Ta ซึ่งสามารถนำไปใช้เพื่อปรับปรุงการยึดเกาะของโลหะและโลหะผสม

คำเตือน：

• หมายเหตุ: ภายในผลิตภัณฑ์มีการติดตั้งส่วนประกอบแรงดันสูงห้ามประกอบและถอดชิ้นส่วนส่วนตัวเคลื่อนย้ายร่างกายด้วยไฟฟ้า
• วาล์วลดความดันควรติดตั้งบนถังแก๊ส (ไม่รวมอุปกรณ์มาตรฐาน) รับประกันความดันเอาท์พุทของก๊าซที่ จำกัด ไว้ที่ 0.02 เมกะปาสคาลต่อไปนี้เพื่อความปลอดภัยในการใช้งาน
• หัวสปัตเตอร์เชื่อมต่อกับแรงดันไฟฟ้าสูง เพื่อความปลอดภัยผู้ประกอบการต้องติดตั้งตัวอย่างและเปลี่ยนเป้าหมายก่อนปิดอุปกรณ์