อุปกรณ์รักษาพื้นผิวพลาสม่าอุณหภูมิต่ำประกอบด้วยโพรงสูญญากาศและแหล่งพลังงานพลาสม่าความถี่สูงระบบสูญญากาศระบบเติมอากาศระบบควบคุมอัตโนมัติและบางส่วนของกลุ่ม ซอง หลักการพื้นฐานของการทำงานคือในสภาวะสูญญากาศการกระทำของพลาสมาภายใต้การควบคุมและวิธีการเชิงคุณภาพเพื่อให้ก๊าซไอออนไนซ์, ใช้ปั๊มสุญญากาศเพื่อดูดฝุ่นสตูดิโอถึงระดับสูญญากาศ 30-40pa แล้วภายใต้การกระทำของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าความถี่สูงก๊าซจะทำไอออนไนซ์เพื่อสร้างพลาสมา (สารสถานะที่สี่) คุณสมบัติที่โดดเด่นคือการปล่อยแสงเรืองแสงที่สม่ำเสมอสูงตามก๊าซที่แตกต่างกันปล่อยสีที่มองเห็นจากสีฟ้าถึงสีม่วงเข้มอุณหภูมิการประมวลผลวัสดุใกล้เคียงกับอุณหภูมิห้อง อนุภาคที่ใช้งานสูงเหล่านี้และพื้นผิวที่ได้รับการบำบัดจะทำหน้าที่ได้รับการปรับเปลี่ยนพื้นผิวต่างๆเช่นความชุ่มชื้นของพื้นผิวการกันน้ำแรงเสียดทานต่ำการทำความสะอาดสูงการเปิดใช้งานการแกะสลัก ฯลฯ

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

1、ขนาดโดยรวมของอุปกรณ์: 450mm*400mm*240mm

2、ขนาดถังสูญญากาศ: Φ151×300(L)mm （5L）

3、โครงสร้างตัวถัง: โพรงสแตนเลส, ขั้วไฟฟ้าเชื่อมต่อความจุในตัว, ไม่มีมลพิษ, ถาดควอตซ์ในตัว

4、เครื่องกำเนิดไฟฟ้าพลาสม่า: RF, กำลังไฟ 0-300 วัตต์, การป้องกันวงจรทั้งหมด, การทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นเวลานาน (ระบายความร้อนด้วยอากาศ)

5、ระบบควบคุม: PLC Touch Screen ควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ adopts Omron, Schneider และส่วนประกอบไฟฟ้าแบรนด์ที่นำเข้าอื่น ๆ มีโหมดควบคุมสองแบบด้วยตนเองและอัตโนมัติหน้าจอสัมผัส Delta สีจริงตัวควบคุมโปรแกรมซีเมนส์ (PLC) ระบบตรวจจับความดันสูญญากาศที่ผลิตในสหรัฐอเมริกาสามารถตั้งค่าแก้ไขและตรวจสอบความดันสูญญากาศเวลาในการประมวลผลพลังงานพลาสม่าและพารามิเตอร์กระบวนการอื่น ๆ แบบออนไลน์และมีฟังก์ชั่นหลายอย่างเช่นการแจ้งเตือนความล้มเหลวการจัดเก็บกระบวนการ ฯลฯ การตั้งค่าพารามิเตอร์กระบวนการต่างๆในโหมดอัตโนมัติคุณสามารถเริ่มต้นได้ด้วยปุ่มเดียวและทำงานซ้ำอย่างต่อเนื่อง โหมดแมนนวลใช้สำหรับกระบวนการทดลองเช่นเดียวกับการซ่อมแซมการบำรุงรักษาอุปกรณ์

กระบวนการไหล:

1、กระบวนการประมวลผล โหลดลงในชิ้นงาน→การสกัดสูญญากาศ→การปะทะกับก๊าซปฏิกิริยา→การรักษาปล่อยพลาสม่า→การปะทะกับก๊าซ→การนำชิ้นงานออก

2、การควบคุมกระบวนการ:

2.1 การควบคุมเวลาในการประมวลผล: 1 วินาที ~ 120 นาทีปรับได้อย่างต่อเนื่อง

2.2 แรงดันปล่อยพลาสม่า: 30 ~ 50Pa

2.3 ช่วงการตั้งค่าพลังงาน: 0 ~ 300W ปรับได้อย่างต่อเนื่อง

2.4 ช่วงการตั้งค่าการไหล: ก๊าซ 1 (0 ~ 300ml / นาที) ก๊าซ 2 (0 ~ 500ml / นาที)

ฟังก์ชั่นซอฟต์แวร์ PLC (อินเทอร์เฟซการควบคุม)

ภาพหลัก: การตรวจสอบแบบเรียลไทม์และแสดงสถานะการทำงานและข้อมูลพลังงานพลาสม่าการไหลของก๊าซสวิตช์วาล์วความดันสูญญากาศ เวลาทำงาน ฯลฯ

การตั้งค่าพารามิเตอร์: สามารถตั้งค่าแก้ไขพารามิเตอร์กระบวนการและขั้นตอนได้

สถานะการทำงาน: ความดันสูญญากาศพลังงานพลาสม่าและข้อมูลอื่น ๆ และสถานะสามารถดูออนไลน์ได้

สัญญาณเตือนความผิดพลาด: การตรวจจับความผิดพลาดการเตือนภัยและการป้องกันที่เชื่อมต่อกัน 。

แอปพลิเคชันพันธะชิป PDMS

ผลพันธะ PDMS และสไลด์

การทดลองการลอกหลังจากพันธะPDMS ไม่สามารถแยกออกจากภาพนิ่งได้หลังจากฉีกขาดและมองเห็นได้ว่าความแข็งแรงของชั้นพันธะสูงกว่า PDMS มาก กระบวนการทางเทคโนโลยีของระบบนี้ง่ายอัตราผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปสูงความเร็วพันธะรวดเร็วมีความแข็งแรงสูงไม่มีการรั่วไหลของของเหลว